实验室管理办公室:电话:020-87236263,020-87234661传真:020-87237017失效机理及数量模型研究室电话:020-37231385失效分析新技术研究室电话:020-87237725可靠性试验与评估技术研究室电话:020-87239857可靠性设计研究室电话:020-87237897地址:广州市天河区东莞庄路110号301楼
包括扫描电子显微镜(SEM),聚焦离子束系统(FIB),光发射显微系统(EMMI)等。可进行显微形貌观察,芯片微纳尺度的精细切割和电路修改,正反面nA级微光探测定位,定位精度小于2μm。
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