2025年5月8日,工业和信息化部电子第五研究所牵头主持的国家重点研发计划“智能传感器”重点专项“MEMS力声敏感元件可靠性基础技术研究”项目启动会暨实施方案论证会在电子五所广州增城总部顺利召开。项目专家组9位专家现场出席会议,工业和信息化部高新技术司领导,电子五所副所长胡湘洪、有关部门负责人,项目负责人、各课题负责人与项目组骨干等40余人参加了此次会议。
本项目汇聚了工业和信息化部电子第五研究所、东南大学、天津大学、中科院空天信息创新研究院、雁栖湖基础制造技术研究院(北京)有限公司等五家高校、研究所和重点企业的优秀研究人员,我所重点实验室林晓玲研究员任项目负责人。随着我国新兴产业的快速发展,对高性能和高可靠的传感器有着巨大的需求。MEMS力声敏感元件作为智能传感器的主流核心部件,其可靠性直接关系到高端装备制造、航空航天等国家重大工程领域的应用安全。当前,我国在MEMS传感器领域已取得显著进展,其功能性能指标上可满足使用要求,但随着上述领域对产品10~30年的长寿命应用需求增长,MEMS传感器长期服役失效问题日益凸显,由于结构疲劳导致失效的本质机理尚不明确、评估模型和加速试验方法等可靠性基础问题未能得到有效解决。本项目的启动,正是瞄准这些关键科学问题,着力突破MEMS力声敏感元件机理建模、测试评价、观测方法等基础技术,对提升我国高端传感器自主创新能力、促进国产MEMS传感器在重大装备型号中的高可靠应用、保障重点领域产业链安全具有重大战略意义。
此次会议圆满落幕之后,各承研单位之间将更加紧密地合作,实现优势互补,协调共进,力求高质量完成项目各项研究任务。
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