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近日，国家市场监督管理总局（国家标准化管理委员会）发布2024年24号中华人民共和国国家标准公告，由工业和信息化部电子第五研究所牵头，苏州市质量和标准化院 、中机生产力促进中心有限公司等15家单位共同编制的国家标准《微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法》于10月26日发布并实施。

MEMS技术迅猛发展，MEMS产品已广泛应用于消费电子、汽车、工业、航空航天等领域。MEMS器件含有可动微机械结构，薄膜作为其主要结构材料，其特性直接关系MEMS器件的质量可靠性。该标准规定了长度和宽度小于1mm、厚度在0.1μm和10μm之间的薄膜材料的弯曲试验方法。该标准的发布可面向MEMS器件的结构加工、产品研制、产品应用、第三方检验等单位开展应用，对MEMS器件产品的推广应用具有重要作用。